Difference between revisions of "Projets:Perso:2012:Vacuum-chamber"

Revision as of 13:05, 29 November 2012

le projet

La cuve

• état initial
• transformation : virer les glissieres, les renforts
• conditionnement : remplissage des trous, meulage
• fabrication du cadre support pour le joint torique
• [todo] decoupe plasma pour les brides
• [todo] soudure des brides
• [todo] soudure des renforts

Les brides

• choix des brides type CF => inox

DN 40

• sciage
• dressage
• pointage CNC
• percage
• evidage si besoin
• mise au diametre : faux plateau chrome moly
• usinage du couteau

DN 100

• sciage
• achat mors inversés

Pompage

Pompes turbomoléculaires

• TPH 200 + controleur TCP 200 : La documentation a été récupérée auprès du constructeur malgré un arrêt de la fabrication en ... 1978 :)

La pompe fonctionne, le rotor est débloqué. Reste à faire : adaptation sur la cuve.

• TPH 170 : manque le controleur TCP 300

La microbalance à Quartz

Documents de référence

• Introduction à la microbalance à Quartz

C'est quoi ?

Une microbalance à quartz sert à quantifier un dépôt, c'est à dire à déterminer la masse de matériau déposée sur une surface donnée. Si le dépôt est homogène, on peut donc déterminer l'épaisseur de ce dépôt.

Fonctionnement

Le quartz est monté en oscillateur. On utilise pour cela une porte logique ou un montage à AOP. A vide, le montage possède une fréquence de résonance propre. Cette fréquence dépend de la masse du quartz. Lors du dépôt, cette masse change, entraînant une variation de la fréquence de résonance. Un circuit de détection, ou un simple fréquencemètre, permet de mesurer la variation de fréquence et donc de retrouver la variation de masse.

Adaptation à la cuve

Les contraintes du montage sont les suivantes :

• Le montage doit demeurer étanche.
• Les quartz doivent pouvoir être remplacés.
• La surface du quartz exposée à la cuve doit être connue et fixe.
• Un bon contact électrique doit être maintenu entre le quartz et la partie fixe du circuit.

La source de plasma

Un plasma c'est quoi ?

C'est un état de la matière dans lequel les atomes sont ionisés. Un plasma est donc constitué d'ions et d'électrons séparés les uns des autres.

Fonctionnement de la source de plasma

Contrantes de fabrication

La chambre à vide et un projet "DIY" et doit donc pouvoir être réalisée, dans la mesure du possible, avec les moyens de l'Électrolab. Le corps de la pièce (1) est tourné, il sert de support à tous les autres élements, mais constitue aussi une des électrodes. L'électrode principale (2) est insérée dans le corps. Les aimants ont pour but de diriger le flux de plasma depuis la source vers la cible du dépôt.

TODO

• Fraiser ergots de bidage iso CF vers iso K
• réparer alim haute tension bleue
• cabler pompe TCH200 et TCP200
• Nettoyer circuits de watercooling des pompes avec HCl
• Percer brides diam 8.5
• découper 3 morceaux de 10cm dans le tube d'inox diam 114.2
• [Fait] fraiser avec CN patrons de découpe plasma
• Faire cache plastique "bouchon" pour brides DN100 et DN40
• tourner collerettes à souder en inox pour brides KF25 et KF40
• Auditer cubes de watercooling + nettoyage
• Preparer armoire electrique
• Faire meuble support (sciage fraisage soudure acier simple )
• Faire circuit d'interface avec mass flow meter (type arduino)
• Fraiser face avant cuve
• Tourner pièces source plasma
• Usiner pièces microbalance (CN?)
• Concevoir et fabriquer circuit de mesure microbalance
• Système de pilotage de vannes 24v, une sorte de nano automate programmable, au sens: quelques protections logiques 'toi pas ouvrir ca ET ca, ni ca SANS ce niveau sur ce capteur'