Difference between revisions of "Projets:Perso:2012:Vacuum-chamber"
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== La microbalance à Quartz == | == La microbalance à Quartz == |
Revision as of 11:44, 25 November 2012
Vacuum Chamber | |
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Auteur | Zenos |
Date de proposition | 03/11/2012 |
Tags du projet | vacuum |
Lieu d'utilisation final | Electrolab |
Type de projet
Projet personnel de Zenos |
Build of a vacuum chamber
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Contents
le projet
La cuve
- état initial
- transformation : virer les glissieres, les renforts
- conditionnement : remplissage des trous, meulage
- fabrication du cadre support pour le joint torique
- [todo] decoupe plasma pour les brides
- [todo] soudure des brides
- [todo] soudure des renforts
Les brides
- choix des brides type CF => inox
DN 40
- sciage
- dressage
- pointage CNC
- percage
- evidage si besoin
- mise au diametre : faux plateau chrome moly
- usinage du couteau
DN 100
- sciage
- achat mors inversés
Pompage
Pompes turbomoléculaires
- TPH 200 + controleur TCP 200 : manque le schéma de cablage - TPH 170 : manque le controleur TCP 300
La microbalance à Quartz
Documents de référence
C'est quoi ?
Une microbalance à quartz sert à quantifier un dépôt, c'est à dire à déterminer la masse de matériau déposée sur une surface donnée. Si le dépôt est homogène, on peut donc déterminer l'épaisseur de ce dépôt.
Fonctionnement
Le quartz est monté en oscillateur. On utilise pour cela une porte logique ou un montage à AOP. A vide, le montage possède une fréquence de résonance propre. Cette fréquence dépend de la masse du quartz. Lors du dépôt, cette masse change, entraînant une variation de la fréquence de résonance. Un circuit de détection, ou un simple fréquencemètre, permet de mesurer la variation de fréquence et donc de retrouver la variation de masse.
Adaptation à la cuve
Les contraintes du montage sont les suivantes :
- Le montage doit demeurer étanche.
- Les quartz doivent pouvoir être remplacés.
- La surface du quartz exposée à la cuve doit être connue et fixe.
- Un bon contact électrique doit être maintenu entre le quartz et la partie fixe du circuit.
La source de plasma
Un plasma c'est quoi ?
C'est un état de la matière dans lequel les atomes sont ionisés. Un plasma est donc constitué d'ions et d'électrons séparés les uns des autres.
Fonctionnement de la source de plasma
Contrantes de fabrication
La chambre à vide et un projet "DIY" et doit donc pouvoir être réalisée, dans la mesure du possible, avec les moyens de l'Électrolab. Le corps de la pièce (1) est tourné, il sert de support à tous les autres élements, mais constitue aussi une des électrodes. L'électrode principale (2) est insérée dans le corps. Les aimants ont pour but de diriger le flux de plasma depuis la source vers la cible du dépôt.